冷等离子体对硅粉薄层的提纯研究

摘要

给出了冷等离子体对作为阴极的硅粉薄层的提纯方法及装置、提纯结果和规律。实验表明，在氮化氢气氛下，不仅可以除去９５％以上的许多过渡金属杂质，还可以除去许多非金属杂质。这种提纯硅的方法在研制太阳能电池材料方面具有好的应用前景。