基于玻璃-PDMS复合结构的微型毛细管被动阀

摘要

微阀是微流控系统中起控制限流的重要组成器件。研究的微阀是一种基于微机械加工技术的无活动部件的单向被动阀,其利用通道表面张力的变化产生阻流作用,起到阀的作用。讨论了被动阀的工作机理,利用快速制备原型技术制作微阀,同时在玻璃表面制作憎水薄膜,将玻璃与PDMS基底贴合并施加一定的压力,即可实现微阀的简单封装。取去离子水进行测试,微阀可以成功的停住液流,最大可以产生1kPa的压力降。阀的操作模式试验表明,微阀适合于应用在低压、一次性使用的场合。