Pd/Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析

摘要

研究了X射线衍射的结构深度分布分析新方法该方法以不同的入射角入射，测量各物相的衍射谱，进而解出各确定深度处薄层的X射线衍射谱，从而可无损和定量地得到各深度处的衍射线的角度位置、强度和线型等全部结构信息此方法可得到各确定深度处的结构信息，而不是由表面到某深度处的平均结构信息；并且适用于具有择优取向的样品和吸收系数随深度而变化的样品．用此方法研究了Pd／Ag双层膜的退火过程，发现在互扩散的过程中，平行于初始界面的薄层中的结构不是微观均匀的，而是由两种具有不同点阵参数的固溶体构成的．结果证实该方法的可行性和有效性。