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刘建平; 石锦霞; 杨小敏; 何平笙; 杨海洋;
华东交通大学基础科学学院;
中国科学技术大学高分子科学与工程系;
薄层软刻蚀; 聚甲基丙烯酸甲酯; 微结构;
机译:超薄柔性玻璃基板上微/纳米图案化PMMA的VHF等离子体刻蚀研究
机译:激光微图案结合湿法刻蚀工艺制备的硅微结构
机译:通过紫外线和软刻蚀可双重图案化的基于环氧树脂的溶胶-凝胶结构
机译:湿法刻蚀法在玻璃基体上超声微细化制备微流体芯片
机译:用于图案转移的高精度等离子刻蚀:基于碳氟化合物的原子层刻蚀
机译:酶刻蚀技术制备对齐的胶原纤维微图案
机译:双光刻和深反应离子刻蚀制备的疏水性硅纳米结构阵列的大规模图案化
机译:用电子束光刻和离子刻蚀制备变厚度微桥。
机译:在二氧化硅薄层中选择性刻蚀图案的刻蚀剂和制备这种刻蚀剂的方法
机译:用于在衬底的薄层中显影图案以产生微结构的装置,该装置例如用于微流体系统,具有循环泵以产生循环运动,以使薄层的正面平行于工作面移动
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