氮化铝(AlN)晶须碳热还原法合成研究

摘要

本文以氧化铝和石墨为原料，在普通氮气气氛条件下成功地合成出了氮化铝（ＡｌＮ）晶须。对碳热还原法合成ＡｌＮ晶须的工艺条件、显微形貌、生长取向和生长机理进行了初步分析和探讨。由于生长条件不同，ＡｌＮ晶须通常呈六棱柱状、片状或四方形截面状等多种形态。六棱柱状晶须的生长取向为［０００１］方向，而片状和四方形截面晶须的生长取向则为［０１１１］等其它方向。碳热还原法合成ＡｌＮ晶须的初期阶段，矿化剂与原料形成的低共熔液相为晶须的成核提供了液相触媒（Ｃａｔａｌｙｓｔ），即晶须以ＶＬＳ机制成核，但晶须后期生长过程中则主要以ＶＳ机制为主。