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化学气相沉积制备SiC涂层——Ⅱ.动力学研究

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１前言碳化硅材料具有很高的强度和硬度、低的热膨胀系数和良好的导热性能，是一种重要的高温结构材料和高温半导体材料［１］，有比较好的热稳定性和较高的击穿电压及宽广的能带结构．研究表明，在抗氧化温度低于１８００ｏＣ时，它是最好的抗氧化涂层材料［２］．碳化硅...

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来源
《化工冶金》|1998年第4期|289-292|共4页
作者
朱庆山; 邱学良; 马昌文;
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作者单位

清华大学核能技术设计研究院新材料室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类耐高温材料、耐低温材料;
关键词
化学气相沉积; 涂层; 动力学; 碳化硅; 石墨;

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