电导型CuO-BaTiO_3基薄膜的制备与CO_2气敏特性的研究

摘要

通过溶胶凝胶技术制备了CuOBaTiO3(copperoxidebariumtitanate,CBT)基复相陶瓷薄膜,并对其CO2气体敏感特性进行了研究。以Cu(NO3)2,Ba(NO3)2及Ti(C4H9O)4为原料,以柠檬酸和乙二醇为络合剂,配制均匀溶胶。通过浸渍提拉工艺,在Al2O3基片上形成溶胶膜,经750℃,40min烧结所制备的薄膜为具有各自独立存在的、纳米晶粒尺度的CuO与BaTiO3所构成。在浓度为6%CO2气体中,对CuOBaTiO3基薄膜的气敏性能进行测试。结果表明:掺杂Sr2+和Ag表面修饰后的CuOBaTiO3薄膜,在350℃的工作温度下,灵敏度可达13,响应与恢复时间均约2s。薄膜材料较佳的灵敏性与选择性适用于CO2气体的检测。