离子探针分析与中性粒子束

摘要

本文介绍了在国产LT-1离子探针上作的有关中性粒子束的实验工作。描述了中性粒子束密度的测量方法。利用中性粒子束分析导体、半导体和绝缘体,并和负离子分析绝缘体的情况进行对比。总的来看,中性粒子束分析绝缘体的灵敏度很低,在一次离子束中有中性粒子存在时,对质量分辨和微区分析都非常不利。这就说明一次离子束应该加装一个离子束的纯化装置,把包括中性粒子在内的所有杂质粒子都过滤掉,这对离子探针的分析将是很重要的。