ФОРМИРОВАНИЕ ПУЧКОВ БЫСТРЫХ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ НА ОСНОВЕ ИСТОЧНИКОВ ИОНОВ С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ

摘要

Показана возможность создания источника пучков БНЧ на базе источников ионов " Радикал" с различной конфигурацией. Выполненные измерения свидетельствуют, что выходной пучок такого источника на 100% состоит из нейтральных частиц, независимо от энергии частиц и их состава. Этот эффект достигается с помощью канала нейтрализации и электростатической отклоняющей системы. Также показана высокая направленность пучка БНЧ и возможность его транспортировки на большие расстояния. Приведены результаты исследования скорости распыления пучком нейтральных частиц Ar~0 различных материалов.