氮化铝陶瓷覆铜基板的研制

摘要

通过高温热氧化的方法 ,在AlN陶瓷表面形成一薄层Al2 O3作为过渡层 ,成功地将铜与AlN陶瓷键合在一起 ,研制出性能优越的AlN陶瓷覆铜基板 .研究了AlN热氧化时间及温度对键合质量的影响 ,提出了较佳的氧化工艺 ,获得的键合力可达 1 1 0N/cm .同时 ,运用扫描电镜 (SEM )、电子能谱 (EDX)对键合结构作了分析和研究 ,AlN衬底上的氧化物相对键合过程起着重要作用 .