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氢与氧及氮钝化对多孔硅光致发光的影响

     

摘要

对多孔硅在NH3和O2 中进行后处理的结果表明 ,SiH(O3) ,SiH (SiO2 ) ,SiH2 (O2 ) ,Si(NH) 2 和Si3N4

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