泄漏波导法精确测量薄膜参数的理论和实验研究

摘要

对泄漏波导法测量薄膜折射率和厚度的实验方法做了介绍,基于四层介质结构的理论模型,通过严格的电磁场理论推导出了测量方法依据的本征色散方程,并使用了Newton Raphson方法求解复传播常数,保证了测量的精确与快捷 以等离子增强化学气相沉积法生长的SiO2 薄膜为例,对其折射率和厚度进行了测定 实验证明,本文方法与传统方法相比,不仅具有更高的测量精度,而且数据处理更加快捷,完成一片样品测试。