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椭偏法测量薄膜参数的实验改进

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摘要

介绍了椭偏仪实验装置及实验调整的不足对薄膜参数测量的影响,制作了小孔光阑和可调位移平台,对光接收和实验调整做了改进,给出了改进的实验调整和实验测量方法,改进后的实验调整简单易调,测量精度得到提高.

著录项

来源
《物理与工程》 |2013年第5期|42-44,50|共4页
作者
姚志; 丁洪斌; 杨华;
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作者单位

大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁大连 116024;

大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁大连 116024;

大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁大连 116024;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
椭偏仪; 载物台; 等幅椭圆偏振光; 光接收器;

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