高压RESURFLDMOST的开态电阻与关态电压

摘要

降低表面电场（ＲＥＳＵＲＦ）原理可大大提高ＬＤＭＯＳＴ的器件性能。本文详细研究了用ＲＥＳＵＲＦ原理设计的ＬＤＭＯＳＴ的开态电阻与击穿电压的理论分析模型，并根据这一模型对ＲＥＳＵＲＦＬＤＭＯＳＴ的优化设计作了深入的讨论。最后评价了高压ＲＥＳＵＲＦＬＤＭＯＳＴ在保持器件耐压不变时降低其开态电阻的几种方法。