椭偏光谱及在离子注入硅损伤研究中的应用

摘要

介绍了椭圆偏振光谱（SE）的原理，给出了椭偏仪在离子注入半导体的辐照损伤研究中的应用和局限。研究表明，结合其它分析手段并建立精细的椭偏模型。椭圆偏振光谱能定量测量各层结构的厚度、成分、气孔率和光学常数。