对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究

摘要

用Raman散射研究了对向靶反应溅射法制备的CN薄膜的键结构研究表明，在C膜中掺杂N可以抑制CN膜中sp3键的形成，提高sp2键的相对含量。