标准互连线性能参数的测试结构设计与实现

摘要

标准互连线性能参数SIPPs是衡量ULSI后段制程效能的标准方法。结合纳米工艺后段制程的特点,根据各参数对不同测试结构敏感度的差异,设计了平行板电容、层跃平行板电容、叉指型电容、叉指型通孔链电阻等提取各参数的无源测试结构。结合版图层信息文件和测试结构输入文件,采用高阶Perl语言将其自动实现为CIF格式版图文件;经Cadence版图软件转换成晶圆厂广泛采用的GDSII格式文件并通过电学连接检查,极大地提高了测试结构设计和实现的效率。