用微光学技术制作位相型聚焦光栅

摘要

根据菲涅耳衍射理论,采用微光学制作技术通过3次套刻,将8位相台阶的菲涅耳波带片和平面光栅组合制作在同一块基片上,构成同时具有色散分光和聚焦光谱线功能的位相型光栅。这种光栅具有较高的光谱分辨本领和衍射效率,而且光路简单,调节方便。实验测出的衍射效率大于71%。