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马盛林; 汤雅权; 于晓梅;
北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室;
非制冷; 红外探测器; 温度响应度; 位移响皿絮; ANSYS;
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机译:红外FPA成像非制冷MEMS电容式热探测器的FEA仿真,设计与制造
机译:具有腔耦合吸收技术的非制冷热电堆红外探测器的设计与制造
机译:使用等离子增强高性能红外光谱的非制冷红外探测器的响应度
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机译:用于非制冷红外探测器的单片硅微测辐射热计材料。
机译:红外窗一体式非制冷红外探测器及其制造方法
机译:非制冷红外光子探测器和使用微光机械传感器的多色红外探测
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