在钽酸锂基片上液相外延铌酸锂薄膜

摘要

本文报告了在钽酸锂基片上液相外延LiNbO_3单晶薄膜工艺。选用了Li_2O-V_2O_5作为助熔剂,测定膜的成分,确定膜的厚度,得到膜的X-射线衍射峰。