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日本; X射线; 膜厚测定仪;
机译:不断发展的在线X射线膜厚/密度监控器最终成为与45 nm工艺兼容的产品:引入可以高灵敏度检测Hf,Ta,W的Au-X射线靶
机译:纳米级地形,表面电荷变化和2-8nm厚的官能氧化铝膜中的缺陷相关性
机译:使用常规X射线衍射的垂直排列的亚微米级厚合成糖脂多晶膜的结构表征
机译:厚膜电化学传感器的开发和二氧化碳原位测定仪器海洋环境中的压力(pCO 2 sub>)
机译:增益饱和重复性软X射线激光器,其波长范围为9-30 nm,并且发射到7.4 nm
机译:长途电子转移 100nm厚的Au纳米颗粒/聚硫膜膜到表面氧化还原蛋白
机译:具有用于低温生长的微血管阵列的原子层沉积和图案化15185nm厚的Al2O3膜,具有低温生长和亚300nm横向特征分辨率
机译:使用50keVE电子束系统在厚au中制造50nm线和空间X射线掩模
机译:脱模剂膜厚的测定方法,该膜厚测定方法中使用的涂布液,以及该膜厚测定方法中使用的荧光强度测定仪
机译:脱模剂的膜厚测定方法,上述膜厚测定方法中使用的涂布液,以及上述膜厚测定方法中使用的荧光强度测定仪器
机译:膜厚测定仪及膜厚测定方法
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