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【2h】

Atomic Layer Deposition and Patterning of 15185 nm Thick Al2O3 Films with Microplasma Arrays for Low-Temperature Growth and Sub-300 nm Lateral Feature Resolution

机译：具有用于低温生长的微血管阵列的原子层沉积和图案化15185nm厚的Al2O3膜，具有低温生长和亚300nm横向特征分辨率

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