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屈新萍; 陆华; 茹国平; 李炳宗;
复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室;
铜互连; 扩散阻挡层; 非晶扩散阻挡层; 三元阻挡层;
机译:不同生长参数制备的纳米金刚石薄膜上氮诱导的浅缺陷的显微拉曼光谱,SEM,XPS和电子场发射特性
机译:聚四氟乙烯的表面改性与氩介质阻挡放电等离子体射流特性的耦合研究
机译:氮掺入对介质阻挡放电等离子体制备的n掺杂DLC薄膜电极的影响:结构演化和电化学性能
机译:用光辐射形成致密无机薄膜对有机膜的聚硅氮烷涂膜和气体阻挡特性
机译:含荧光团的聚合物薄膜的制备,取向和理化特性的研究。
机译:使用不同Ar / O2流量比制备的RF溅射RuO2薄膜的pH传感特性
机译:用于金属基板上的柔性薄膜太阳能电池的陶瓷阻挡层:用于工艺优化和阻挡层特性的实验室规模研究
机译:电子束离子源中碳核,氮和高电荷氩离子和氙离子的制备
机译:改性聚硅氮烷薄膜及其制备气体阻挡薄膜的方法
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