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王宇; 陈火耀; 刘正坤; 郑衍畅; 洪义麟; 付绍军;
中国科学技术大学国家同步辐射实验室;
合肥230029;
光学位移传感器; 编码光栅; 复制技术; 紫外光刻; 全息光刻; 光传操纵系统;
机译:使用线性聚焦光栅耦合器的集成光学光栅尺位移传感器
机译:用于带有光栅尺光栅的三轴表面编码器的四探针光学传感器头的设计和测试
机译:集成光学头,用于感测光栅尺的二维位移
机译:基于新光学结构的新型二维微位移传感器,用于相等倾斜干扰
机译:使用片上针孔光学器件的集成电路“Astrolabe”角位移传感器
机译:用于结构健康监测的光学干涉三轴位移传感器:脱层过程中滑动和脱胶的表征
机译:新型集成光学位移传感器,用于扫描力显微镜检查
机译:用于视觉研究的光学光栅尺的程序控制
机译:使用半导体激光光源的位移传感器-在激光光源和光栅尺之间具有热绝缘体
机译:光电扫描位移传感器光栅尺之间的间隙测量方法
机译:光学位移传感器的调整方法,光学位移传感器的制造方法以及光学位移传感器
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