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卞玉民; 郑锋; 何洪涛;
中国电子科技集团公司第十三研究所;
微电机系统; 压阻; 加速度传感器; 阻尼; 圆片级封装;
机译:高敏感和低串扰角度加速度传感器,使用镜面对称液环通道和MEMS压阻悬臂
机译:Quad Beam MEMS压阻式加速度计的阻尼分析
机译:压阻法抑制MEMS束谐振器中的热弹性阻尼
机译:一维和三维单片集成压阻MEMS高加速度传感器的设计
机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
机译:高冲击应用的高重力压阻加速度传感器的设计与应用
机译:具有旋转对称螺旋通道的双轴角度加速度传感器和MEMS压阻性悬臂
机译:用于压阻式加速度计的机械隔离器的高冲击,高频特性,ENDEVCO 7270am6(asterik)
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
机译:MEMS压阻式加速度传感器
机译:通过使用相同的制造具有桥式压阻器的压阻加速度传感器的桥式结构和方法的制造方法
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