考虑边缘效应的微镜静电力学性能分析

摘要

该文基于计及边缘效应的矩形平行板静电力计算公式,建立了扭转微镜的非线性静力学模型,分析了边缘效应对微镜静态特性和吸合特性的影响,并通过与实验数据的比较,证明该文所建立的模型更接近于实际。数值分析表明,微镜的激励电压、微镜电极的几何尺寸等参数都会影响微镜的边缘效应,从而使微镜的静态响应产生较大的误差。因此,在某些情况下分析微镜力学性能时必须考虑边缘效应的影响。