显微物镜数字剪切波面像差评价仪

摘要

本文介绍了所开发的显微物镜像质评价仪，它利用数字波面剪切干涉技术实现显微物镜轴上、轴外单色波像差的实时检测，提出了用有限元解析二维剪切波面的新算法并应用于该评价仪中，最后对实验所测得的数据进行了对比分析，其精度可达λ／２０。