数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法

摘要

一种数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法，该干涉仪由光源、小孔掩模、第一空间光调制器、第二空间光调制器、二维光电探测器及计算机组成，通过计算机编程将第一空间光调制器设置为光栅，作为剪切分光器件，将第二空间光调制器设置为双窗口掩模，作为滤波器件，滤除0级与2级以上高级衍射光，使参与干涉的仅有+1级和-1级衍射光。本发明解决了高级衍射光参与干涉问题的同时，具有不需要更换或旋转任何器件实现剪切方向可变、剪切率可调的优点，系统更灵活。