显微物镜像差测定及其像质评价

摘要

介绍了我们研制的多功能显微物镜波差测定仪的各种像差测定方法。测试了国内外显微物镜。平视场物镜的波面像差、轴上〈λ/4～λ/8,视场边缘～λ/2;非平场的波面像差、轴上〈λ/4,边缘视场～3λ。波面像差作为设计装配检测是一种合适的质量判据。作为像质判据,采用白光传递函数较为合适。