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苏岩; 杨拥军; 王寿荣; 周百令;
东南大学仪器科学与工程系;
河北半导体研究所;
硅微振动角速度传感器; 静电驱动; 电容检测; MEMS;
机译:机械值传感器中使用压电电阻转换器的硅微棒(弯曲)共振振动频率的平行配准
机译:使用硅弹性体的可植入中耳助听器的微振动传感器
机译:一种新型的静电微吸盘(cellgripper),与接触传感器集成在一起,并配备了振动系统,可主动释放颗粒
机译:高性能硅微加工偏航角速度传感器的噪声
机译:用于高性能微传感器和微执行器的多功能硅微加工技术。
机译:仅在高温下仅使用氧气进行硅蚀刻:在150 mm硅晶片上进行硅微加工的另一种方法
机译:一种朝向开发硅基微流体压力传感器阵列的微型制备的本科实践方法
机译:多晶硅薄膜在微传感器和微致动器中的应用
机译:用于角速度传感器的音叉振动器,使用振动器的角速度传感器,以及使用角速度传感器的车辆
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