非致冷红外探测用VOx薄膜XPS价带谱研究

摘要

介绍了用XPS技术研究反应溅射制备的VOx薄膜；结果表明该方法制备的VOx薄膜大多是不同价态的混合物，其物相、成分与氧分压密切相关。XPS价带谱研究发现VO2+δ物相的薄膜最利于非致冷红外探测。