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光波导用TiO_2/SiO_2复合薄膜的制备及其性能研究

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用离子自组装成膜技术制备了用作光波导器件的TiO2/SiO2复合薄膜,介绍了薄膜光学常数的测定方法,并研究了光波导的波导特性.结果表明随着TiO2含量的增大。光波导的折射率增加;但同时光波导损耗也将发生变化,一般TiO2占10％时,薄膜的波导损耗较低.在更高的含量范围内,必须使TiO2分散.

著录项

来源
《大气与环境光学学报》 |2003年第2期|20-25|共6页
作者
李小甫; 余海湖; 姜德生;
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作者单位

武汉理工大学光纤传感技术研究中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN814.6;
关键词
离子自组装; 纳米薄膜; 光波导; 光学常数;

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