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尤大伟; 任荆学; 黄小刚; 武建军;
中科院空间科学与应用研究中心;
光学镀膜; 离子束辅助镀膜; 等离子体加速器; 霍尔离子源;
机译:使用SF_6作为工作气体由IAD与霍尔离子源一起沉积的AlF_3膜
机译:使用SF_6作为工作气体,IAD用霍尔离子源沉积MgF_2膜
机译:具有霍尔离子源的类金刚石碳膜增强了化学气相沉积
机译:使用终端霍尔离子源直接测量离子电流密度作为离子辅助沉积的控制参数
机译:I)辅助矿物相的微量元素和锶同位素地球化学以及上层硅质侵入性火成岩的成因。 II)掺杂铅的熔融硅酸盐玻璃的电化学以及用于热电离质谱的新型离子源的开发。
机译:一种紧凑超高真空离子源用于同位素富集和沉积28si薄膜
机译:通过电束蒸发辅助通过高能RF离子源沉积的1319nm超高反射器的性能研究
机译:评“磁场梯度对圆柱霍尔离子源中离子束电流的影响”
机译:使用过氧化氢作为辅助气体进行原位清洁,以将初级掺杂剂或吹扫气用作离子源,以最大程度地减少离子源中的碳沉积
机译:从霍尔电流离子源沉积类金刚石碳涂层的方法
机译:从霍尔电流离子源沉积类金刚石碳涂层的方法和装置
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