光散射法测量表面微粗糙度

摘要

本文阐述了基于电偶极子辐射模型的矢量散射理论及以光散射法测量表面微粗糙度的基本原理;介绍了基于该理论研制而成的光散射空间角分布测量系统的原理与结构;最后给出了两个在此测量系统上完成的实验及结果。