磷化物掺杂剂与钽的互相作用

摘要

查明磷化物掺杂剂与钽基的互相作用,是了解掺杂剂影响钽阳极的比容、击穿电压和漏电流等性能的基础。为此,本文用高温俄歇谱仪和X射线衍射仪对掺杂试样进行了分析,发现在掺杂量≥0.5％时,其主要作用机理为:P_2O_5+2Ta=Ta_2O_5+2P,3Ta+P=Ta_3P。