磷化物掺杂剂对钽阳极氧化膜组成及击穿特性的影响

摘要

利用俄歇谱仪(AES),采用氩离子溅射剥离的方法对不掺杂和掺杂钽片的阳极氧化膜进行了纵向分析。发现:掺杂剂中的磷原子确实进入到阳极氧化膜内。假设进入氧化膜内的掺杂剂中的磷原子作为杂质中心存在,在强电场作用下电离而释放出电子。根据钽阳极氧化膜的Albella雪崩模型,导出了V_B=B-blnc-alnA。实验证明上述假设是合理的。