光学系统测试与设备

摘要

TH703 2003053891测量大数值孔径光学系统小光斑的方法=Testing methodof small light spot produced by an optical system with highNA[刊,中]/徐文东(中科院上海光机所.上海(201800)),干福熹//中国激光.—2003,30(2).—171-174介绍了一种小孔扫描测量大数值孔径光学系统小光斑的方法。利用近场光学显微镜的光纤探针采样技术和压电陶瓷扫描技术,可对光学系统小光斑的光强分布进行高空间分辨的测量。