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赵继文; 郝晓斌; 赵柯臣; 李一村; 张森; 刘康; 代兵; 郭怀新; 韩杰才; 朱嘉琦;
哈尔滨工业大学;
特种环境复合材料技术国家级重点实验室;
哈尔滨150080;
南京电子器件研究所;
微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室;
南京210006;
微系统与微结构制造教育部重点实验室;
金刚石; 微波等离子体化学气相沉积; 散热; 氮化镓器件;
机译:微波等离子体化学气相沉积法制备高导热金刚石涂层石墨
机译:微波等离子体化学气相沉积法在金刚烷涂层硅衬底上合成金刚石膜的生长,微结构和场发射特性
机译:通过He / H_2 / CH_4 / N_2混合物的微波等离子体化学气相沉积法沉积的超光滑纳米结构金刚石(USND)涂层的合成和机械磨损研究
机译:微波等离子体化学气相沉积法在多晶金刚石厚膜上制备纳米晶金刚石膜
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:He / H2 / CH4 / N2混合物的微波等离子体化学气相沉积法沉积超光滑纳米结构金刚石(USND)涂层的合成及机械磨损研究
机译:微波等离子体增强化学气相沉积法沉积厚而薄的纳米晶金刚石膜
机译:通过微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长率同质外延金刚石膜沉积
机译:微波等离子化学气相沉积法在基体上涂覆高导热金刚石材料
机译:通过微波等离子体增强化学气相沉积来制造合成金刚石材料的方法,该微波等离子体来自微波发生器和与生长表面积相对设置的进气口
机译:微波等离子体辅助化学气相沉积法在高温下高生长速率同质金刚石膜沉积
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