高台型GaAs—AlxGa1-xAs双异质结激光器的液相外延

摘要

＜正＞ 一.引言对于 AlGaAs 双异质结激光器,用液相外延的方法,可以生长出性能十分良好的多层外延片。用此方法,我们在 GaAs 单晶衬底上制备了包括四层结构(n 型 AlxGa*（1-x）As,P 型 AlYGa1-YAs 和 P 型 GaAs)的双异质结构注入型激光器。去年我们制作出能连续工作的激光器,其寿命很短,只几分钟,且性能不稳定。经分析认为,是外延片质量不