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掺氧非晶硅的光学带隙和光电导光谱响应

         

摘要

GD非晶硅中氧的掺杂对材料的光电特性有重要的影响。我们测量了a-Si:H和a-Si:H:O的光学带隙和光电导光谱响应,发现掺氧将会使光学带隙有所增加。光电导光谱响应测量表明,掺氧后的非晶硅,较之同样条件下未掺氧的样品,光电导光谱响应的峰值更加接近太阳光谱的峰值,光电导光谱响应半宽度有所增加。此外,在长波限以外,当所用光子能量大于EB—EF时,仍测得了微弱的光电导,这可能与带隙态中低于EF的局域态有关。

著录项

  • 来源
    《半导体技术》 |1983年第4期|33-35|共3页
  • 作者

    李德林; 孙仲林; 徐温元;

  • 作者单位

    南开大学物理系;

    南开大学物理系;

    南开大学物理系;

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  • 正文语种 chi
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