高性能肖特基势垒IR-CCD摄像传感器（特邀）

摘要

研制了32×63和64×128像素高性能PtSi和Pd2Si肖特基势垒IR-CCD摄像传感器。80K下工作的PtSi肖特基势垒探测器（SBDS）在3～5μm光谱区内具有百分之几的量子效率,截止波长6.0μm。工作在120～140K之间的Pd2Si SBDs在1.0～2.5μm光谱区的量子效率为1.0～8.0%,截止波长3.6μm。用64×128像素PtSi肖特基势垒IR-CCD摄像器件在60帧/秒的与IR兼容的TV摄像机中已经摄出了高质量的热像。用Pd2Si肖特基势垒IR-CCD摄像传感器还得到了质量良好的SWIR反射红外摄像。