小型钛泵在制作He-Ne激光管真空系统中的应用

摘要

＜正＞在He-Ne激光管的制作过程中,真空系统的好坏和管内所充气体的纯度对器件的性能和寿命有着直接的影响.过去我们的真空系统采用机械泵和扩散泵,充气时系统的动态真空度为2×10-5托,但实际静态真空度在很短时间内便下降到5×10-4托.