带选择性吸气泵的膨胀法高真空规校准系统

摘要

本文提出了一种带选择性吸气泵的膨胀法高真空规校准系统。用锆铝泵或钛球升华泵可长时间使密封系统平衡在较低的本底压强(用钛升华泵可稳定在2×10-7托),系统的升压率近于零,并可在1分钟内达到稳定。用氦气作试验气体,在10-3～10-6托范围内进行校准,重复性良好。文中提出一种反馈式的二级膨胀原理,可以在很简单的小系统上实现10-4～10-6托的校准,为高真空规的校准提供了廉价和简易的方法。实验证明,在氦气氛下,DL-2规在10-3～10-6托的压强范围内的灵敏度为4.1±0.2托-1。BA规在10-5～10-6托范围内的灵敏度为3.3±0.3托-1。二种规的离子流与压强均有很好的线性关系。