相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准装置

摘要

本实用新型公布一种相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准装置，包括箱体和相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准系统，相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准系统设在箱体内；相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准系统包括检测管路、高真空校准分系统、低真空校准分系统、机械泵和分子泵；检测管路包括导气管、电阻规G₅、电磁隔断阀V₁₀、手动隔断阀V₁、微调阀V₅和电磁隔断阀V₉；电阻规G₅、电磁隔断阀V₁₀、分子泵、手动隔断阀V₁、微调阀V₅和电磁隔断阀V₉通过导气管依次连接。本实用新型不仅可以对各种型号的真空规进行测量，还实现了一装置多用途，降低计量成本，节省设备占用空间。