在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性

摘要

本文用X射线衍射方法研究离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性。该膜是在起始底材温度（Ts）低于200℃以下离子镀在9Cr18不锈钢上。本文揭示在其他离子镀参数一定的条件下,底材温度Ts愈低,TiN膜愈呈现（220）择优取向,伴随着晶粒变小、晶格缺陷增大、临界负荷降低等缺点;而当Ts较高时,TiN膜呈现（200）择优取向,此时膜的性能优越得多。