多功能质谱分析系统及其在电真空工艺研究中的实验技术

摘要

本文简介了一台用于电真空器件工艺研究的多功能超高真空质谱分析系统的组成、特点和实验技术;列举了一些质谱分析实例,并对实验的误差来源作了初步分析和探讨,对此分析结果进行了若干修正。