以测抽速为主的综合测试台

摘要

＜正＞ 综合测试台是以测量离子泵抽速为主的专用设备。变换某些附件,便可兼校测真空量具和标准漏孔。适合电子管制造业计量部门小批量、多品种的计量特点,并能减少专用设备对厂房和资金的占用。双规小孔法测抽速,与泵口直径相同的管状试验罩、试验罩中部小孔隔板将其分隔成上、下两室。因为小孔的直径比试验罩直径小得多,所以上室的气体分子运动情况接近麦克斯韦分布,故上室存在平衡压强P1。下室情况则不然。许多人通过模拟计算证明,如能恰当安排下室规管的位置,仍能使管状试验罩等价于大试验罩。使用式