高性能的二次离子分析系统

摘要

本文介绍了一种高性能的二次离子分析系统。它是在四极质谱计的基础上用拒斥-加速型能量分析器和大口径通道式电子倍增器组成。通过离子轨迹的计算、离子光学系统的设计及一系列的实验研究,改善了系统中的匹配,提高了系统的性能。用热发射的Na+源测试了系统的性能。最小能量通带（FWHM）可达0.4eV,已接近Na+源本身的能量分散（0.3eV）。在质量分辨ΔM5%H≤1amu及较宽的能量通带下,整个系统的最大流通率（检测到的离子数与入射到系统中的离子数之比）可达1—8%。实验结果表明,此系统既可用于高灵敏度的静态二次离子质谱分析,也可用于二次离子能谱的研究。