应用背散射技术研究固体薄膜

摘要

＜正＞ 应用背散射（R.B.S）方法测量了单层金属膜（Fe膜、Au膜）、双层金属膜（Ti-Fe膜）、双层介质膜（Si-Si○2-Si3N4 膜）的厚度。在对Si-Si○2-Si3N4双层介质膜测厚的同时,还测出Si3N4膜中含有一定量氧的存在,检验了它的生长质量。用背散射方法对错（Zr）的氧化进行了初步研究,测定了在1964年于400 ℃干燥空气中分别氧化7＇、14＇、28＇、80＇的ZrO2膜的厚度。实验结果大体上与锆氧化的抛物线规律