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絶縁膜上薄膜結晶シリコン基板(TF-SOI)における素子分離技術とそのロジックLSIへの適用に関する研究

机译:绝缘膜上薄膜晶体硅基板的元件隔离技术研究及其在逻辑LSI中的应用

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